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光柵傳感器其實(shí)是采用光柵疊柵條紋原理測量位移的傳感器。光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測量。目前高分辯率的光柵尺一般造 價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辯率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，本系統(tǒng)采用了電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測量，同量莫爾條紋又具有光學(xué)放大作用， 其放大倍數(shù)為 ：

W為莫爾條紋寬度;d為光柵柵距(節(jié)距);θ為兩塊光柵的夾角，rad

軟件設(shè)計(jì)

根據(jù)硬件電路和系統(tǒng)功能要求設(shè)計(jì)軟件程序，由于采用了溫度誤差修正子程序，可使檢測的 精度得到大大提高。光柵傳感器是光機(jī)電一體化結(jié)構(gòu)，光柵尺是由玻璃制做，外殼是由型鋁材料。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，必然會(huì)引起結(jié)構(gòu)尺寸改變導(dǎo)致光柵柵距的變 化，帶來檢測誤差。設(shè)定環(huán)境溫度為20℃時(shí)為檢測標(biāo)準(zhǔn)值，與標(biāo)準(zhǔn)值比較測出溫度變化時(shí)帶來的位移誤差值，即時(shí)測出位移誤差一溫度特殊性性曲線，由特性曲線 擬合出誤差一溫度方程式，作為軟件溫度誤差修正的基礎(chǔ)。本系統(tǒng)軟件采用模塊化結(jié)構(gòu)，軟件編制簡潔，緊湊合理。

在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與羊向功能。本系統(tǒng)采用 的光柵尺柵線為50線對(duì)/mm，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辯率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在一般工業(yè)測控中已達(dá)到了很高精度。由于 位移是一個(gè)矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，我們采用了由低漂移運(yùn)放 構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)滏電器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈 沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波，經(jīng)由兩個(gè)與或非門74LS54芯片組成的四細(xì)分判向電路輸入可逆計(jì)數(shù)器，最后送入由 8031組成的單片機(jī)系統(tǒng)中進(jìn)行處理。

單片機(jī)與接口電路

為實(shí)現(xiàn)可逆計(jì)數(shù)和提高測量速度，系統(tǒng)采用了193可逆計(jì)數(shù)器。假設(shè)工作平臺(tái)運(yùn)行速度為v，光柵傳感器柵距為d，細(xì)分?jǐn)?shù)為N，則計(jì)數(shù)脈沖的頻率為：

若v=1m/s,d=20μm,N=20，則f=1MHz，對(duì)應(yīng)計(jì)數(shù)時(shí)間間隔為1，顯然對(duì)于8031單片機(jī)系統(tǒng)的響應(yīng)為2μs是不能勝任的。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器分頻后，可大大地提高測量速度。

由于193是4位二進(jìn)制輸出，為與單片機(jī)接口，把兩片193采用了級(jí)聯(lián)的方式，這樣最多可計(jì)255個(gè)脈沖，若再來脈沖，進(jìn)位端或借位端將輸出一個(gè)脈沖送到單片機(jī)T0、T1端計(jì)數(shù)，保證送到8031的信號(hào)不丟失。

本系統(tǒng)長度最大可測幾米(由光柵實(shí)際長度決定)，最小分辯率為μm級(jí)，需要7個(gè)顯示數(shù)據(jù)。正向運(yùn)行時(shí)不顯示符號(hào)，反向運(yùn)行時(shí)需顯示"-"號(hào)，所以連同符號(hào)位，共需8個(gè)顯示塊。為了符全人們應(yīng)用習(xí)慣，顯示塊選用共陰極LED。

為實(shí)現(xiàn)測量系統(tǒng)的智能化，設(shè)置了一個(gè)2×8方式鍵盤矩陣，其中包括0～9共10個(gè)數(shù)字鍵和6個(gè) 功能鍵：L/A長度/角度轉(zhuǎn)稱功能鍵;+/-符號(hào)轉(zhuǎn)換功能鍵;ΔT溫度誤差修正功能鍵;EXE執(zhí)行鍵;ENT預(yù)置鍵CE(清零鍵)。鍵盤、顯示器與單片機(jī) 之間通過一個(gè)接口芯片8155來連接。其中，8155的PA口設(shè)置轔基本輸出方式，作為8位LED顯示的段碼線;PB口設(shè)為輸出方式，作為8位LED的位 選線;PC口設(shè)為輸入方式，作為鍵盤的行掃描線。PB口俠選線每次選通1位顯示，每次顯示1ms，由于人眼視覺惰性，可產(chǎn)生8位顯示塊同時(shí)顯示現(xiàn)象。

由于從前置電路74LS54出來的脈沖經(jīng)過2片193分頻后，直接進(jìn)入8031的僅為大于 255的"大"數(shù)，而小于255的"小"數(shù)是由兩片193輸出通過I/O接口輸入到8031內(nèi)部處理，這個(gè)I/O接口芯片是通過擴(kuò)展一片8255實(shí)現(xiàn)的。 其中，8255PB口設(shè)為基本輸入方式，PB0-PB3作為1#193輸入，PB4～PB7作為2#193輸入。PA口、PC口的低位設(shè)為輸出，作為系統(tǒng) 并行BCD碼輸出。由于8031單片機(jī)無內(nèi)ROM，應(yīng)外擴(kuò)展一片2732(4k EPROM)。只用PSEN片選，不必增加地址譯碼。為鎖存8031P0口輸入的地址信號(hào)，在8031和2732之間需加一片74LS373地址鎖存器。

根據(jù)上述硬件電路和軟件設(shè)計(jì)，經(jīng)實(shí)驗(yàn)測試，系統(tǒng)的測精度可優(yōu)于±5μm，目前，我們研制的利用光柵傳感器進(jìn)行長度、角度自動(dòng)測量的智能儀表已形成系列產(chǎn)品，分辯率可從20μm到1μm，具有性能穩(wěn)定、抗干擾能力強(qiáng)、體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、成本低等優(yōu) 點(diǎn)，已成功地應(yīng)用于機(jī)庫改造和相關(guān)的光電尺寸與位置檢測系統(tǒng)中。

除光柵傳感器在測距中的優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用，還有關(guān)于振動(dòng)測量中加速度傳感器的重要性、稱重傳感器在工業(yè)衡器上的計(jì)量、氣體傳感器的發(fā)展給能源開發(fā)帶來效益等相關(guān)資訊的介紹。